產品詳情
查看大圖

  • 產品名稱：EPX500L Edwards半導體高真空干泵

  • 產品型號：EPX500L
  • 產品廠商：Edwards
  • 產品文檔：
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹：
EPX500L Edwards半導體高真空干泵使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7x10-5Torr的極限壓力。 EPX500L Edwards半導體高真空干泵用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。
詳情介紹：
EPX500L Edwards半導體高真空干泵概述
新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX500L Edwards半導體高真空干泵應用
EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

EPX500L Edwards半導體高真空干泵功能和優勢
緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在進氣口壓力下連續工作。
清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
– EPX 基于經過現場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。

可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到結構的網絡，以進行診斷監視和控制。


EPX500L Edwards半導體高真空干泵數據

峰值速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
極限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
預熱時間（達到標稱性能） 30 分鐘
入口法蘭 ISO160
法蘭 NW25
噪音 <59 dB(A)
冷卻水流速 2 lmin-1
冷卻水溫度 15 – 35°C
電源供給 200/208 V，50/60 Hz，3 相
極限功率 1.4 kW
電機額定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 45.2 kg

標題：
內容：
聯系人：
聯系電話：
Email：
公司名稱：
聯系地址：
 
 
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯系方式!

滬公網安備 31011702004253號
国产青年男男GV|人人澡人人澡人人看|欧美性大战xxxx|国产精品午夜爆乳美女|女自慰喷水免费观看WWW久久