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  • 產品名稱：iXH 干式工業級真空泵系統

  • 產品型號：
  • 產品廠商：Edwards
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簡單介紹：
iXH 干式工業級真空泵系統系列干泵產品是 Edwards 的市場 iH 產品的，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程性實現低成本。 iXH 干式工業級真空泵系統可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業中日益提高的氣體流量要求的 大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以在嚴苛制程中具有大性。
詳情介紹：
iXH 干式工業級真空泵系統

iXH 系列干泵產品是 Edwards 的市場 iH 產品的，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程性實現低成本。 
可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業中日益提高的氣體流量要求的 大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以在嚴苛制程中具有大性。 
iXH 泵采用模塊化設計，符合 當今的制程要求，并且對于前沿工廠中不斷涌現的應用挑戰 有著路線明確的應對計劃。



應用

半導體的目標應用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI

FPD 的目標應用包括：
PECVD
TCO
刻蝕
傳輸腔

主要特性和優勢
針對的 EPI 和太陽能制程大幅提高了氫氣抽取速度。
大容量干泵和 增壓泵提供擴展的制程窗口以提高產量。
占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。

符合主要的標準，包括 UL、CE 和 S2?？梢允冀K如一地使用或省略不用。




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