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  • 產品名稱：廠務真空系統-4備1方案

  • 產品型號：
  • 產品廠商：Edwards
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簡單介紹：
廠務真空系統-4備1方案 中央真空系統定制 廠務真空系統-4備1方案 負壓系統規劃設計
詳情介紹：
真空系統。是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。

該真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統。該真空系統的控制系統由的PLC控制系統經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。

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